人類從事將真空作為滅弧和絕緣介質的應用研究，迄今已有一百多年的歷史。早在1893年，美國人里頓豪斯就設計出世界上第1只真空滅弧室并以專利的形式發表;1920年，瑞典佛加公司研制出世界上第一臺真空開關;1926年，加里福尼亞工學院的索倫森教授發表了真空開關的試驗結果，顯示了在真空中分斷電流的可能性，并預言應用真空開關的時代不久就會到來。但因分斷能力小，又受到真空技術和真空材料發展水平的限制，尚不能投入實際使用，使得真空開關在工業上的實際應用被大大推遲了。
到1950年前后，隨著真空技術以及相關技術如冶金技術等的發展，真空滅弧室的制造技術得到了提高，又重新開始了真空開關在工業上應用的研究。1956年，羅斯對杰寧無線電制造公司生產的用于高頻回路的真空開關進行了改造，試制出了15kV、200A的真空開關。50年代美國才制成第一批適用于切斷電容器組等特殊要求的真空開關,分斷電流尚停在4千安的水平。
二十世紀70年代初，全球范圍掀起的中壓開關無油化浪潮給真空開關帶來了前所未有的發展機遇。80年代中期，真空斷路器的分斷能力已達100千安。
憑借自身巨大的技術優勢，真空開關僅用了不到20年的時間就取代少油開關而成為中壓領域的主導產品。目前單斷口真空斷路器已達到145kV電壓等級，短路開斷電流已達到200kA。
我國真空斷路器的發展概況
1958年，由西安交通大學電器教研室和當時的西安高壓開關整流器廠合作成立了一個廠校聯合研制小組，由王季梅副教授和童永潮總工程師負責，正式開展真空開關的研制工作。小組成立后不到半年就成功研制出我國第一只真空滅弧室，并在西安交通大學電器實驗室的合成回路上通過了50Hz、4kV、5kA的電流開斷試驗。
此后，西安高壓電器研究所于1960年研制成功了電壓為6.7kV、500A的單相真空開關，西安交通大學于1964年開發成功10kV，1500A的三相真空開關，當同年這臺三相真空開關在北京全國高教展覽會上展出時，受到來自全國各地專家的好評，并引起全國各省市開關制造廠的極大興趣，是為推動我國真空開關生產和發展的起始點。
1968年9月5日，國家重點國防工程(6895工程)在華光電子管廠實施，同年誕生了我國第一只商用真空滅弧室，從此華光電子管廠成為國內首家生產真空滅弧室的企業。
此后由于受到“文革”的影響，我國在真空電弧理論研究和真空開關開發方面的工作暫時停頓，一直到1976年才開始恢復。當時國內從事真空電弧理論研究的主要單位有西安交通大學、西安高壓電器研究所和上海電器科學研究所三家。1978年以后，國內有10多家工廠正式投入真空開關的生產，所需的真空滅弧室主要由寶光電工總廠和華光電子管廠生產。
1984年，西安高壓電器研究所、桂林電器科學研究所、寶光電工總廠和北京開關廠等四家聯合引進了德國西門子公司3AF系列真空斷路器的全套制造技術(含CuCr觸頭材料、真空滅弧室和真空斷路器三大部分)。1986年，華光電子管廠引進了美國西屋公司全套真空滅弧室的制造技術(含CuCr觸頭材料)。這兩次引進使我國真空開關行業的制造和設計水平均得到了極大的提高，為此后我國真空開關行業的發展和繁榮奠定了技術基礎。
1992年，兩部(即當時機械電子工業部與能源部)召開了關于在電力系統廣泛推廣應用真空開關的“天津會議”，從此我國真空開關進入快速發展期，市場上先后出現了多種由我國自主開發、技術指標達到當時國外先進水平的真空斷路器，其代表產品有ZN23、ZN28和ZN63A等。在此階段，我國己能生產額定電壓為35kV，開斷能力為31.5kA及10kV，50kA、63kA的真空斷路器。到2003年，我國已研制出72.5kV、110kV/31.5kA和18kV/80kA的單斷口真空斷路器，全行業年產各類真空開關20萬余臺，在世界上真空開關從業廠家最多、產銷量最大和品種系列最多，成為名符其實的“真空開關王國”。
